「低インダクタンスアンテナ」の主な特徴は、

①高い成長・反応速度－誘導結合型プラズマ（ICP）モードによる高密度プラズマの利用
②プラズマダメージが少ない－低インダクタンスアンテナの採用により、アンテナ電位が低く、プラズマによるダメージが少なくなる
③大面積化が容易－マルチアンテナ構造の採用により、大面積化を容易に実現できる
④高いガス利用率－高密度プラズマにより、ガスの利用効率が向上

などが挙げられます。太陽電池のエネルギー効率を大幅に高められるほか、エレクトロニクス製品の軽量化や高機能化、大画面テレビの製造コストダウンなど、多岐にわたる応用が期待されています。