プラズマ技術

プラズマプロセスに、新発想。 独創的な発想から生まれた、「低インダクタンスアンテナ(LIA)」

LIAの特長

大容量・大面積プラズマを均一に生成できます。

「低インダクタンスアンテナ」の主な特徴は、

①高い成長・反応速度-誘導結合型プラズマ(ICP)モードによる高密度プラズマの利用
②プラズマダメージが少ない-低インダクタンスアンテナの採用により、アンテナ電位が低く、プラズマによるダメージが少なくなる
③大面積化が容易-マルチアンテナ構造の採用により、大面積化を容易に実現できる
④高いガス利用率-高密度プラズマにより、ガスの利用効率が向上

などが挙げられます。太陽電池のエネルギー効率を大幅に高められるほか、エレクトロニクス製品の軽量化や高機能化、大画面テレビの製造コストダウンなど、多岐にわたる応用が期待されています。

高いプラズマ密度+高い電力利用効率+低ダメージ CCP方式とLIA方式の比較
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