プラズマ技術

プラズマプロセスに、新発想。 独創的な発想から生まれた、「低インダクタンスアンテナ(LIA)」

プラズマについて

プラズマって?

固体・液体・気体というように、温度によって状態が変化する物質。プラズマはそれらに続く第4の状態のこと。気体の温度がさらに上昇すると、原子を構成している原子核と電子が分かれ(電離)、プラズマの状態になります。オーロラや稲妻もプラズマで、身近なところでは蛍光灯などにもプラズマが利用されています。

プラズマの種類について

産業利用されるプラズマ源には、「低密度プラズマ」と「高密度プラズマ」があります。低密度プラズマの電子密度が1×10の10乗c㎥に対し、高密度プラズマは1×10の11乗c㎥と1桁以上の密度差。低密度プラズマで一般的なものが、容量結合型プラズマ(CCP)で、太陽電池に代表されるアモルファスシリコン用プラズマCVDなどに利用されています。幅広く利用されている反面、成長速度が遅い、サイズ限界がある、パーティクルが多い、といった点が課題です。

一方、高密度プラズマには、表面波プラズマ(SWP)や誘導結合型プラズマ(inductively coupled plasma:ICP)などがあります。誘導結合型プラズマは、構造が簡単で高密度プラズマが得られるものの、大型化に伴いアンテナ電圧が増大してしまうのが欠点。そうした問題を解決したのが、当社の「低インダクタンスアンテナ(LIA)」です。