プラズマイノベーション 当社のミッション お問い合わせ

プラズマ技術

プラズマ技術

プラズマプロセスに、新発想。

独創的な発想から生まれた、「低インダクタンスアンテナ(LIA)」。

コンサルティング

コンサルティング

次世代産業をコンサルティング。

高密度・大面積プラズマの均一生成で、新たなビジネスを創出します。

研究用システム

研究用システム

未知なるビジネスの領域へ。

新しい薄膜材や成膜プロセスの開発に、柔軟にお応えします。

プラズマプロセス新技術で、ひろがるビジネスフィールド

  • 液晶ディスプレイ

    • 微結晶Si-TF
    • ゲート絶縁膜
    • 大画面ドライエッチング

  • 有機EL

    • 微結晶Si-TF
    • パッシベーション膜
    • Al2O3ガス封止膜

  • シートディスプレイ

    • IGZO膜
    • ゲート酸化膜
    • パッシベーション膜
    • エッチストップ膜

  • 太陽電池

    • 薄膜シリコン太陽電池
    • ヘテロ接合シリコン太陽電池
    • CIGS薄膜太陽電池
    • パッシベーション膜

  • LED

    • サファイア基板カッティング
    • PSS
      （加工サファイア基板）加工

  • カーボン系

    • カーボンナノチューブ
    • グラフェン
    • DLC
      （ダイヤモンドライクカーボン）